一种碳化硅微粉的生产工艺，其步骤如下：  
      (1)取碳化硅原料，经破碎机中碎，并筛分至不大于5mm的碳化硅颗粒，再用整形机对其进行整形至不大于2mm的碳化硅颗粒，且其中椭圆形颗粒占80％以上，再对其进行酸洗除杂，干燥；  
      (2)将上述干燥后的碳化硅颗粒用磨粉机粉碎成d50＝9.5-11.5μm的碳化硅粉，粉碎时，磨粉机主机电流设定为65-75A，风机流量设定为40-50m3/min，分析机转速为400--600转/分； 
      (3) 然后用涡流式气流分级机对碳化硅粉进行分级，分级时，涡流式气流分级机的风机流量为25-43m3/min，分级轮转速为2600--3300转/分，从分级口分出粒度ds94＝6.5-5.5μm的成品A，旋风口分出ds94≤5.5μm的半成品；  
      (4)将涡流式气流分级机旋风口分出的半成品用叶轮式气流分级机再进行二次分级，分级时，叶轮式气流分级机的风机流量为25-10m3/min，分级轮转速为1300--1700转/分，从分级口分出粒度为ds94＝4.5-3.0μm的成品B，旋风口则分出副产品。 
      筛分 
      筛分就是把颗粒、粉末分成大小不同的粒子段。单台TS振动筛分机可配至4层筛网，能连续分选出2-5个粒级并控制较窄的粒度范围。  
      筛出杂质 
      高性能筛机在高流量处理过程中，能迅速清除百分含量低的大颗粒或小颗粒浆渣分离。TS振动筛分机能把各类浆液中的非溶性固体物质迅速清除，并连续排渣。