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千吨级多晶硅生产技术获新突破
发布时间:2009-06-05      作者:      来源:本网
 

 
    近日,由洛阳中硅高科承担的三个国家“十一五”科技支撑计划课题——“大型三氯氢硅合成、提纯工艺技术与关键装置研究”、“高效加压还原炉系统研究”、“大型低温加压四氯化硅氢化技术与装置研究”和一项参与完成的课题“多晶硅标准、专利体系建设与研究”,顺利通过了验收评审。这四项科技成果解决了规模化多晶硅生产中的瓶颈问题,打破了国外技术封锁,填补了国内空白,标志着我国千吨级多晶硅生产集成工艺技术又获新突破。
  验收评审会由国家科技部和中国电子材料行业协会组织召开。专家组成员在深入实地考察了课题现场后,经过认真质疑和讨论,一致同意以上四个项目通过验收。
  多晶硅是集成电路和光伏发电用关键原材料,是国家重点鼓励发展的产品和产业。为满足集成电路与光伏发电产业对高纯多晶硅材料的迫切需求,2006年科技部启动了“十一五”国家科技支撑计划“多晶硅材料产业关键技术开发”重点项目,中硅高科承担、参与完成了上述四项课题。
  据介绍,这些研发成果在年产1000吨多晶硅生产线上推广应用后,运转状况良好,提高了多晶硅生产单炉和综合产能,大大降低了生产成本,提高了产品质量,有力提升了我国多晶硅产业综合竞争力,使我国多晶硅生产进入世界大国、强国行列。

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